Gás CF4

Is é tetrafluoromethane, ar a dtugtar tetrafluoride carbóin nó R -14, an perfluorocarbon is simplí (CF4). Mar a léiríonn a ainm IUPAC, is é tetrafluoromethane an contrapháirtí perfluorinated leis an meatán hidreacarbóin. Is féidir é a rangú freisin mar haloalkane nó halomethane. Is cuisneán úsáideach é Tetrafluoromethane ach is gás ceaptha teasa láidir é freisin. Tá neart banna an -ard aige mar gheall ar nádúr an bhanna carbóin -fluorine.

Tetrafluoride carbóin

CAS: 75-73-0

NA: 1982

Einecs: 200-896-5

Foirmle Mhóilíneach: CF4

CF4 gas dominates silicon and silicon nitride etching in chip manufacturing, accounting for 45% of all fluorocarbon gases used in fabs. When ionized in plasma, CF4 gas generates reactive fluorine species that etch at rates up to 1 μm/min with excellent anisotropy. Gas mixtures with oxygen or hydrogen allow precise control of selectivity and sidewall profiles. Environmental abatement systems for CF4 gas achieve >98% Éifeachtúlacht scriosta ag baint úsáide as dóchán ag 1,100 céim agus sciúradh ina dhiaidh sin. Tá méadú 20% ar an aistriú go liteagrafaíocht ultraivialait (EUV) an -mhór le haghaidh feidhmchlár glantacháin photomask.

Uaireanta úsáidtear tetrafluoromethane mar chuisneán ísealteochta (r -14). Úsáidtear é i micreafabrication leictreonaice amháin nó i gcomhar le hocsaigin mar phlasma etchant le haghaidh sileacain, dé -ocsaíd sileacain, agus nítríd sileacain. Tá úsáidí aige freisin i mbrathadóirí neodrón

• Úsáid i gcónaí de réir an bhileog sonraí sábháilteachta (SDS).
• Ní mór an sorcóir a stóráil agus a úsáid i suíomh díreach, daingnithe i limistéar dea-aeráilte nó monatóireachta.
• Lean riachtanais an chóid dóiteáin áitiúla i gcónaí agus sorcóirí gáis á stóráil.
• Guaiseacha móra: tine, plúchadh.

Seasann Jiangsu Mr Chemical Co., LTD, chun tosaigh i nuálaíocht i réimse na léiriúchán gásach, ag speisialú i speictream iomlán na ngás caighdeánach, gáis speisialta, gáis ard-íonachta, agus gáis leictreonacha, freastalaíonn muid den chuid is mó Cosaint Dóiteáin, Aerospace, Bia, Tógáil, Bruithniú, Ceimiceán Fine, Próiseáil agus Tionscail Déantúsaíochta.

Clibeanna Te: CF4 GAS, CF4 CF4 Monaróirí Gáis, Soláthraithe, Monarcha